氮封閥系統(tǒng)在新創(chuàng)納電子超純水應(yīng)用
超純水設(shè)備的氮封水箱是將一定量的氮?dú)獬淙朊芊獾乃鋬?nèi)，水箱內(nèi)氮?dú)鈮毫Σ淮笥?0Kpa，氮?dú)馐嵌栊詺怏w能防止CO2等其它物質(zhì)溶入水中影響水質(zhì)，保證水箱內(nèi)的水不受二次污染而導(dǎo)致水質(zhì)下降。
氮封裝置由快速泄放閥及微壓調(diào)節(jié)閥兩大部分組成，而快速泄放閥由壓力控制器及單座切斷閥組成，當(dāng)儲(chǔ)罐內(nèi)壓力升高至設(shè)定壓力時(shí)，快速泄放閥迅速開(kāi)啟，將罐內(nèi)多余壓力泄放。微壓調(diào)節(jié)閥是在儲(chǔ)罐內(nèi)壓力降低時(shí)，開(kāi)啟閥門(mén)，向罐內(nèi)充注氮?dú)?。因微壓調(diào)節(jié)閥必須使用在壓力為0.1Mpa壓力以下，現(xiàn)場(chǎng)N2壓力較高，必須安裝壓力調(diào)節(jié)閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。
本實(shí)用新型涉及超純水生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種超純水用氮封裝置?？諝庵泻卸趸?、細(xì)菌、塵埃等雜質(zhì)，而超純水為純的溶劑，對(duì)這些雜質(zhì)的溶解能力很強(qiáng)，故一旦超純水與空氣接觸，就會(huì)使其電阻率迅速下降，實(shí)踐證明15MΩ·m以上的超純水暴露在空氣中1分鐘后水質(zhì)就會(huì)下降至3-4MΩ·m，3分鐘以后就會(huì)下降到2MΩ·m左右，因此超純水的儲(chǔ)存容器需確保水體不與空氣的接觸。
浙江新創(chuàng)納電子科技有限公司由上海新安納電子科技有限公司投資設(shè)立，是一家專門(mén)致力于電子級(jí)納米磨料和拋光液技術(shù)開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。公司在我國(guó)電子級(jí)納米磨料依賴進(jìn)口的形勢(shì)下，根據(jù)國(guó)家的戰(zhàn)略部署，在中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所與海寧市人民政府戰(zhàn)略合作協(xié)議框架下成立。目前主要從事電子級(jí)二氧化硅納米磨料和拋光液的技術(shù)開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)。
新創(chuàng)納公司建有先進(jìn)的電子級(jí)磨料和拋光液生產(chǎn)線，擁有完整的磨料和拋光液制備、檢測(cè)、拋光驗(yàn)證系統(tǒng)，是目前中國(guó)技術(shù)的電子級(jí)膠體二氧化硅、藍(lán)寶石拋光液和硅片拋光液供應(yīng)商，產(chǎn)品質(zhì)量和技術(shù)能力得到了國(guó)內(nèi)外公司的認(rèn)可。經(jīng)過(guò)一期和二期的建設(shè)，以及上海新安納公司搬遷至新創(chuàng)納公司相關(guān)建設(shè)，公司現(xiàn)在已經(jīng)具備年產(chǎn)一萬(wàn)噸的電子級(jí)硅溶膠和拋光液的生產(chǎn)能力，公司研發(fā)和生產(chǎn)的電子級(jí)硅溶膠、藍(lán)寶石拋光液、金屬拋光液和硅片拋光液已成功應(yīng)用與數(shù)十家電子和光電子行業(yè)的公司，成功替代了相應(yīng)的進(jìn)口產(chǎn)品。
序號(hào) | 品 名 | 型 號(hào) 及 規(guī) 格 | 單位 | 數(shù)量 |
1 | 氮封閥 | 氮封閥ZZYVP-II DN15 PN10 進(jìn)口壓力 0.3-0.8 MPA, 出口壓力0.5 KPA | 臺(tái) | 1 |
2 | 泄壓閥 | 泄壓閥ZXD-10 DN15 PN10 起跳壓力2KPA | 臺(tái) | 1 |
3 | 呼吸閥 | 呼吸閥ZFQ DN40 PN10 正壓：3KPA 負(fù)壓：-298PA | 臺(tái) | 1 |
4 | 氮封閥 | 氮封閥ZZYVP-II DN25 PN10 進(jìn)口壓力 0.3-0.8 MPA, 出口壓力0.5 KPA | 臺(tái) | 1 |
5 | 泄壓閥 | 泄壓閥ZXD-10 DN25 PN10 起跳壓力2KPA | 臺(tái) | 1 |
6 | 呼吸閥 | 呼吸閥ZFQ DN50 PN10 正壓：3KPA 負(fù)壓：-298PA | 臺(tái) | 1 |
超純水設(shè)備氮封水箱的工作原理：
超純水設(shè)備的氮封水箱是將一定量的氮?dú)獬淙朊芊獾乃鋬?nèi)，水箱內(nèi)氮?dú)鈮毫Σ淮笥?0Kpa，氮?dú)馐嵌栊詺怏w能防止CO2等其它物質(zhì)溶入水中影響水質(zhì)，保證水箱內(nèi)的水不受二次污染而導(dǎo)致水質(zhì)下降
氮封裝置由快速泄放閥及微壓調(diào)節(jié)閥兩大部分組成，而快速泄放閥由壓力控制器及單座切斷閥組成，當(dāng)儲(chǔ)罐內(nèi)壓力升高至設(shè)定壓力時(shí)，快速泄放閥迅速開(kāi)啟，將罐內(nèi)多余壓力泄放。微壓調(diào)節(jié)閥是在儲(chǔ)罐內(nèi)壓力降低時(shí)，開(kāi)啟閥門(mén)，向罐內(nèi)充注氮?dú)?。因微壓調(diào)節(jié)閥必須使用在壓力為0.1Mpa壓力以下，現(xiàn)場(chǎng)N2壓力較高，必須安裝壓力調(diào)節(jié)閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。
壓力可按要求分段設(shè)定，從0.5Kpa至60 Kpa以下。
微壓調(diào)節(jié)閥壓力調(diào)節(jié)范圍內(nèi)選定一設(shè)定值 如：3Kpa。
泄氮設(shè)定值的設(shè)定應(yīng)遠(yuǎn)離供氮壓力值，如：8Kpa。
具體壓力的設(shè)定值要根據(jù)純水系統(tǒng)的產(chǎn)水量和水箱容量大小來(lái)確定選擇。
氮?dú)?(N2)的純度為99.999％以上。
氮封閥系統(tǒng)在新創(chuàng)納電子超純水應(yīng)用處理超純水與空氣接觸的方法：
充氮法：即在水箱水面上充入氮?dú)馐瓜鋬?nèi)維持適當(dāng)?shù)恼龎毫?，阻止大氣與箱內(nèi)水面接觸。
薄膜袋法：即在在水箱內(nèi)設(shè)置袋狀薄膜覆蓋于水面上，薄膜袋隨水位升降，減少水面與空氣接觸面積。
浮頂法：即以密度比水輕的輕質(zhì)材料在水箱內(nèi)制成整塊板狀浮頂浮于水面，并用輕質(zhì)彈性材料（如海綿、發(fā)泡塑料等）遮蓋浮頂與箱間的間隙，浮頂隨水面升降。從而減少空氣與水面的接觸機(jī)會(huì)。
（1）當(dāng)?shù)忾y關(guān)閉時(shí)，主閥的活塞是在一個(gè)密封室內(nèi)，當(dāng)儲(chǔ)罐壓力等于或大于設(shè)定的壓力時(shí)，氮封閥膜片就被向上頂起，氣導(dǎo)閥在彈簧的作用下向上移動(dòng)，把氣導(dǎo)閥上的密封圈緊緊壓在閥座上，關(guān)閉了控制氣的進(jìn)口，同時(shí)特殊閥芯室的壓力增加并接近氮?dú)饪偣艿膲毫?，此壓力通過(guò)內(nèi)部通道，從特殊閥芯室傳到主閥閥芯室。主閥的活塞就處于氮?dú)饪偣軌毫Φ淖饔?，由于主閥閥芯上、下所受氣體壓力平衡，所以主閥閥芯在自重和彈簧的作用下將閥門(mén)緊密關(guān)死。
（2）氮封閥打開(kāi)時(shí)，當(dāng)儲(chǔ)罐壓力稍微低于設(shè)定壓力時(shí)，膜片因?yàn)楦袘?yīng)壓力下降而向下移動(dòng)，推動(dòng)氣導(dǎo)閥打開(kāi)，氮?dú)饨?jīng)過(guò)孔板、氣導(dǎo)閥的出口進(jìn)入儲(chǔ)罐，使儲(chǔ)罐內(nèi)的壓力增加，同時(shí)氣導(dǎo)閥的特殊閥芯室的壓力下降，氮?dú)馔ㄟ^(guò)內(nèi)部通道從特殊閥芯室進(jìn)入主閥閥芯室。由于主閥閥芯的活塞面積大于主閥閥座孔面積，并有彈簧的彈力和主閥的重量，所以當(dāng)儲(chǔ)罐壓力稍微低于設(shè)定點(diǎn)時(shí)，特殊閥芯室和主閥閥芯室的壓力降低很小，主閥仍然保持關(guān)閉，氮?dú)庵粡臍鈱?dǎo)閥進(jìn)入儲(chǔ)罐。
在上述三種方法中又以氮封水箱常見(jiàn)，實(shí)施簡(jiǎn)單，效果好。超純水設(shè)備氮封水箱是將一定量的氮?dú)獬淙朊芊獾乃鋬?nèi)，水箱內(nèi)氮?dú)鈮毫Σ淮笥?0Kpa，氮?dú)馐嵌栊詺怏w能防止CO2等其它物質(zhì)溶入水中影響水質(zhì)，保證水箱內(nèi)的水不受二次污染而導(dǎo)致水質(zhì)下降。
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